H14 Aluminum partition HEPA Air Filter for Semiconductor Cleanrooms
| Dimension W × D × H (mm) |
Air Volume | Initial P.D (パ) |
Final P.D (パ) |
|||
| H13 | H14 | |||||
| CMM | CFM | CMM | CFM | |||
| 305×305×290 | 7 | 250 | 6 | 227 | 249 (25.4 mmH2O) |
500 (50.8 mmH2O) |
| 305×610×290 | 15 | 527 | 14 | 480 | ||
| 610×610×290 | 31 | 1111 | 29 | 1012 | ||
| 760×610×290 | 40 | 1399 | 36 | 1273 | ||
| 915×610×290 | 48 | 1696 | 44 | 1544 | ||
| 1220×610×290 | 65 | 2280 | 59 | 2076 | ||
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